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中微公司获得实用新型专利授权：“一种气相沉积设备及其基片承托装置”

财富规划师

2024-06-08 23:22:25

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本站消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气相沉积设备及其基片承托装置”，专利申请号为CN202322238340.5，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：一种气相沉积设备及其基片承托装置，基片承托装置包含一底座和位于底座上的基片承托环，底座包含用于承托基片的顶板和设置在顶板下方的套筒，基片承托环用于承托基片的边缘区域并实现基片的取放。本实用新型采用基片承托环作为可移动部件来实现基片的取放，减轻了机械手的负重量，延长了机械手的使用寿命。通过底座将基片承托环的底部和侧面完全包裹的方式，减少了基片承托环内外侧之间的温度差，提升了基片承托环的温度均匀性，降低了基片承托环裂缝或变形的风险。底座上的顶板作为固定部件，始终与套筒保持稳固接触，防止顶板在随套筒旋转的过程中发生错位和晃动，降低了基片在旋转过程中发生晃动的风险，最终提高了基片的温度均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权38个，较去年同期减少了28.3%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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